連生產半導體的光刻膠材料，都是由國外(主要是日本)大廠所主導

 為了抗衡西方國家製裁，中國正千方百計自主研發國產晶片，但技術和設備方面都被西方國家卡脖子。現在就連生產半導體的光刻膠材料，都是由國外(主要是日本)大廠所主導。

目前全球光刻膠主要企業有日本合成橡膠（JSR）、東京應化（TOK）、住友化學、信越化學、陶氏化學等，佔市場份額超過85%。

據大陸集微網報導，由於日本年初地震影響，信越化學KrF光刻膠產線受到很大程度的破壞，至今尚未完全恢復生產，在產線受到影響和晶圓廠擴產等多方因素下，信越化學不得不停止向中國大陸幾家晶圓廠供應KrF光刻膠。雖然東京應化（TOK ）填補了信越化學海外大部分缺失的KrF光刻膠產能，但目前仍存在不小的缺口。

報導指，全球半導體光刻膠被日本合成橡膠（ JSR）、TOK、住友化學、信越化學，以及美國陶氏化學所主導。JSR是現在全球最大的，技術是最領先的光刻膠龍頭，Intel、三星和台積電都是JSR核心客戶，I-line、KrF、ArF、EUV光刻膠產品全覆蓋。TOK專注於做光刻膠及配套試劑，在G線、I線，KrF和ArF都有些市場份額。陶氏的光刻膠事業部已經併入杜邦，客戶是Intel、IBM體系，但在大陸市場佔有率不是很高。信越化學主要切入點就是從KrF和ArF開始，EUV光刻膠也在開發，在中國大陸有不少FAB廠客戶。

 

高質國產光刻膠的自給率不足5%

今年以來，除了台積電、三星、英特爾、聯電等晶圓廠積極擴產外，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等多家本土晶圓廠積極擴產和產能釋放，這也就導致國內光刻膠需求量遠大於本土產量，且差額逐年擴大，尤其是在高端KrF、ArF等半導體光刻膠。
然而，截至目前，國內能夠批量供應KrF 、 ArF光刻膠的廠商卻為數不多。根據SEMI數據，日本幾大廠商在g線/i線、 KrF 、 ArF膠市場中市佔率分別為61% 、 80% 、 93%，而國內g線/i線自給率約為20%，KrF光刻膠的自給率不足5% ， 12寸矽片的ArF光刻膠目前尚無國內企業可以大規模生產。

集微網引述業內人士表示，未來國內多家晶圓廠或將面臨KrF光刻膠大缺貨的處境，彤程新材（603650）作為目前國內唯一一家能夠供應KrF光刻膠的廠商，大陸多家晶圓廠正在加速驗證導入其子公司北京科華的KrF光刻膠。

 

責編胡力漢